在半導(dǎo)體與微電子制造領(lǐng)域，光刻膠的質(zhì)量直接決定了芯片的良率與性能。而光刻膠中一個常常被忽視卻又至關(guān)重要的指標(biāo)，便是微量水分含量。

光刻膠主要由樹脂、感光劑、溶劑及各類助劑組成，其含水量通常要求低于0.05%。水分的存在會帶來一系列致命問題：在光刻過程中，水分可能引發(fā)光刻膠水解，導(dǎo)致顯影后圖形邊緣粗糙、線條坍塌；水分汽化產(chǎn)生的氣泡則會造成針孔缺陷；更嚴(yán)重的是，水分會影響光刻膠的感光速度和分辨率，直接降低芯片制造的成品率。

當(dāng)光刻膠含水量處于較低水平時，傳統(tǒng)的干燥失重法已無法滿足精度要求。此時，卡爾費休庫侖法成為行業(yè)認可的方案。上海禾工科學(xué)儀器有限公司推出的AKF-C6全自動微量卡氏水分測定儀，正是為這一高精度檢測需求而生。

一、精度至上：ppm級水分的精準(zhǔn)“捕手"

光刻膠的水分控制往往需要達到ppm（百萬分之一）級別。AKF-C6采用電解電流庫侖法原理，通過電解產(chǎn)生的碘與樣品中水分發(fā)生定量反應(yīng)，根據(jù)消耗的電量精確計算水分含量。其測量分辨率高達0.01μg（水質(zhì)量），水分測定范圍覆蓋1ppm至100%，測定重復(fù)性大于99.7%。

對于光刻膠這類微量水分要求極為嚴(yán)苛的樣品，AKF-C6能夠提供穩(wěn)定、精準(zhǔn)的檢測數(shù)據(jù)，為工藝控制提供可靠依據(jù)。

二、操作極簡：彩色觸屏，一鍵啟動

傳統(tǒng)水分測定儀操作復(fù)雜、對人員要求高，而AKF-C6打破了這一印象。儀器配備彩色觸摸屏與全數(shù)字鍵盤，界面極簡，一鍵啟動即可開始測量，無需專業(yè)人士操作。儀器內(nèi)置多年積累的智能檢測技術(shù)，可實現(xiàn)自動終點判斷、自動檢測，并能根據(jù)環(huán)境濕度自動調(diào)節(jié)檢測精度。

三、一機多用：不止于水分測定

AKF-C6的價值遠不止于測水。儀器內(nèi)置了氣體、液體、固體水含量測定方法以及溴指數(shù)測定方法，無需增加額外附件即可實現(xiàn)多種檢測功能，幫助企業(yè)節(jié)省采購成本。同時，儀器可選配卡式加熱爐、多樣品自動頂空加熱進樣器等專用輔助設(shè)備，可分析樹脂、膠黏劑、高分子材料等難溶性、不溶性復(fù)雜樣品——光刻膠恰恰屬于這一范疇。

四、合規(guī)無憂：全面滿足GMP/GLP規(guī)范

對于制藥及制造行業(yè)而言，數(shù)據(jù)合規(guī)是不可回避的剛需。AKF-C6針對2020新版《中國藥典》對卡爾費休水分測定儀的要求，在軟件層面開發(fā)了符合GMP認證需要的功能。儀器配備三級用戶管理權(quán)限和完整的審計追蹤功能，可完整記錄實驗日志并支持導(dǎo)出，確保原始數(shù)據(jù)可追溯、不可篡改。

五、國產(chǎn)儀器：媲美進口的可靠品質(zhì)

光刻膠水分含量測定儀AKF-C6延續(xù)了禾工科儀產(chǎn)品一貫的可靠品質(zhì)：配備硬件故障智能檢測與運行狀態(tài)實時監(jiān)測功能，具有異常終止、定時停止等能力，故障率低、使用成本低、運行壽命長。作為一款可以媲美并替代進口的優(yōu)秀國產(chǎn)產(chǎn)品，AKF-C6已在鋰電池電解液、醫(yī)藥、化工等多個高要求行業(yè)獲得驗證。

在光刻膠質(zhì)量控制的精密天平上，每一微克水分的波動都可能影響最終產(chǎn)品的成敗。上海禾工科學(xué)儀器有限公司AKF-C6全自動微量卡氏水分測定儀，以高精度、極簡操作、一機多用、合規(guī)可靠的綜合優(yōu)勢，為光刻膠及電子化學(xué)品行業(yè)提供了一份值得信賴的國產(chǎn)解決方案。

選擇光刻膠水分含量測定儀AKF-C6，就是選擇精準(zhǔn)、穩(wěn)定與全生命周期的價值陪伴。